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締切り済みの質問

自己バイアス効果を小さくする方法はありますか?

プラズマ理工学一般で使われている自己バイアス効果についての質問です。自己バイアス効果とはプラズマ中に存在している電極へ交流電圧を加えると、探針特性の非線形性により直流バイアスがかかるというもので、プロセスプラズマなどで応用されているものです。私は現在、プラズマの高周波加熱を研究しているのですが、問題が生じています。プラズマと対向するアンテナに自己バイアスがかかり、アンテナのカバーとして使用しているセラミックでスパッタリングが生じ、不純物が混入して問題になっています。自己バイアス効果を小さくする方法、もしくはなくす方法はありますか?

投稿日時 - 2006-08-04 14:06:55

QNo.2319155

困ってます

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回答(1)

ANo.1

素人に教えてください。
自己バイアスって直流成分ですよね?

高周波と直流なら、コイルやコンデンサと相場は決まっているのですが。

セラミックカバーとアンテナを適当なコイルで接続したら、
どうなるのですか?

投稿日時 - 2006-08-05 03:55:03

補足

回答ありがとうございます。

自己バイアスは負の直流成分です。

この負の直流成分の発生でプラズマ中のイオンがアンテナカバー(セラミック)にたくさん衝突して、不純物(セラミック)が発生して困っているんですね。

つまりこの負の直流成分を発生させないようにしたいと。

>セラミックカバーとアンテナを適当なコイルで接続したら、どうなるのですか?

わからないです。アンテナは導体でセラミックは絶縁体ですのでこの両者をショートさせることはできるんですか?

もし直流分の電圧を除去したいなら、コンデンサーということになるんですかね?

投稿日時 - 2006-08-05 10:14:06

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